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Spray etcher (스프레이 에칭 장치), SU-30
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본 스프레이 에칭 장치 ( spray
etcher, 에처 ) 는 각종 화학약품에 견디는 PVC, PFA, PVDF, PEEK 등을 사용하여 본체를
제작하여 우수한 내구성을 보장합니다.
스프레이 에칭 장치는 우수한 식각 균일성을 보장하여 각종 반도체 웨이퍼, SUS 명판, PCB 에칭용으로 사용하며, PDF,
LCD의 도광판 제조에 적합한 장치입니다. |
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●고급사양의 스프레이 에칭장치이며, 에칭 시간 및 온도를 세팅
●부착된 세라믹 히터로 온도 제어 가능
●디지털 온도 콘트롤러로 섭씨 50도 까지 조절
●디지털 타이머: 9999초 까지 에칭 타임 설정
●약산, 약알칼리에 사용
●조의 용량：약 10,000cc
●에칭 가능한 기판 치수：120×120mm
●수평 왕복 스프레이 방식
●왕복 샘플 스테이지로서 균일한 에칭
●케미칼 펌프
●세라믹 히터
●용도: 양산용, 실험실 , 연구실 ,대학교 실습용으로 적합
●내산성 재질: PVC, PFA 등
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스프레이 에처 및
현상 장치 ( spray etcher/ developer ), Model
SU-10D
본 스프레이 에칭(에처)/ 현상 장치는 버블 타입 장치보다 한단계
업그레이드된 사양입니다.
- 디지털 온도 조절( 상온~섭씨 50도)
- 내화학성의 PVC, PVDF, PTFE, PFA, PP등의 재질로 구성되어
있습니다.
- 약품을 손에 묻히지 않고 에칭과 현상 공정을 합니다.
- 에칭액을 순환시켜 재사용할 수 있습니다.
- 약산, 약알칼리에 사용
- 조의 용량：약 10,000cc
- 180초 이내에 35um 두께의 동박(단면 또는 양면)을 에칭할 수 있으며, 버블
에칭기(bubble etcher)의 3배 속도입니다 .
- 에칭 장치는 현상제(developer)를 사용하면 현상 장치로도 활용됩니다.
- 드레인 밸브로 약품의 교환 및 제거가 용이합니다.
- 디지털 타이머로 에칭 시간을 세팅합니다. 1~9999초
- 에칭/ 현상 능력: 120x120mm PCB
- Dimensions :H 500, W 700, D 350 mm
Spray etcher (스프레이 에칭 장치, 현상 장치), SU-60D
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본 스프레이 에칭 장치 ( spray
etcher, 에처 ) 는 각종 화학약품에 견디는 PVC, PFA, PVDF, PEEK 등을 사용하여 본체를 제작하여 우수한
내구성을 보장합니다.
스프레이 에칭 장치는 우수한 식각 균일성을 보장하여 각종 반도체 웨이퍼, SUS 명판, PCB 에칭용으로 사용하며, PDF,
LCD의 도광판 제조에 적합한 장치입니다.
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●고급사양의 스프레이 에칭장치이며, 에칭 시간 및 온도를 세팅
●부착된 세라믹 히터로 온도 제어 가능
●디지털 온도 콘트롤러로 섭씨 50도 까지 조절
●디지털 타이머: 9999초 까지 에칭 타임 설정
●약산, 약알칼리에 사용
●조의 용량：약 20,000cc
●에칭 가능한 기판 치수：200×300mm
●수평 왕복 스프레이 방식
●스프레이
압력 조절
●압력
게이지
●왕복 샘플 스테이지로서 균일한 에칭
●케미칼 펌프
●세라믹 히터
●용도: 양산용, 실험실 , 연구실 ,대학교 실습용으로 적합
●내산성 재질: PVC, PFA 등
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Model |
SU-30 |
SU-10D |
SU-60D |
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시료 사이즈(substrate size) |
120x120mm |
120x120mm |
200x300mm |
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본체 재질(body) |
PVC, PFA, PVDF, PEEK |
PVC, PFA, PVDF, PEEK |
PVC, PFA, PVDF, PEEK |
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에칭 방식(Etching style) |
왕복 수평 스프레이 |
고정 수평 스프레이 |
왕복 수평 스프레이 |
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스프레이 노즐(spray nozzle) |
4개 |
4개 |
optional
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린스 스프레이(Water Rinse) |
optional |
optional |
optional
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에칭 정밀도(etch rate uniformity) |
± 10% |
± 10% |
± 10% |
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온도 콘트롤러 |
0~50°C |
0~50°C |
0~50°C |
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약품조(etchant bath) |
기본 |
기본 |
기본 |
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외형(길이x폭x높이, mm)
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750x350x500
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750x350x500
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1000x600x600
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전원(power) |
단상 AC220V, 10A |
단상 AC220V, 10A |
단상 AC220V, 15A |
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