Model

ZC-200

ZC-300

ZC-308

ZC-408

ZC-508

시료 사이즈(substrate and wafer)

50x50mm, Ø50mm

Ø125~150mm

Ø125~150mm

150x150mm,

Ø200mm

250x250mm

Ø350

보울 지름, mm(bowl diameter)

Ø200, 청소 간단

Ø300, 청소 간단

Ø300, 청소 간단

Ø400, 청소 간단

Ø600, 청소 간단

본체 재질(body)

SUS 304

SUS 304

SUS 304

SUS 304

SUS 304

회전수(RPM)

6,000

6,000

6,000

6,000

3,000

회전 스텝(steps)

2 steps

2 steps

10 steps (10 recipes)

10 steps (10 recipes)

10 steps (10 recipes)

디스플레이(display)

아날로그(analog)

digital timer

analog RPM

digital, LCD

터치패널 입력방식

digital, LCD

터치패널 입력방식

digital, LCD

터치패널 입력방식

정밀도(accuracy)

± 1%

± 1%

± 1 RPM

± 1 RPM

± 1 RPM

진공 척(chuck)

기본 포함(included)

기본 포함(included)

기본 포함(included)

기본 포함(included)

기본 포함(included)

전원(power)

AC220V, 5A

AC220V, 6A

AC220V, 6A

AC220V, 8A

AC220V, 10A

외형,WxDxH

250x250x275

350x360x275

350x360x275

450x460x450

650x650x1,100

보울 커버(bowl cover)

투명 PVC

 투명 PVC

투명 PVC

 투명 PVC

투명 PVC

기본 사양 포함(standard)

진공펌프, 진공척

진공펌프, 진공척

진공펌프, 진공척

진공펌프, 진공척

진공펌프, 진공척