Model JS2C-200A

 자동 스핀 크리너 ( Automatic Spin cleaning equipment, spin cleaner )

    cassette to cassette 타입의 자동 크리닝 시스템입니다.

사진은 스크럽 크리닝, UV 크리닝, 핫플레이트 장착사양입니다.

사양

웨이퍼 사이즈: Ø2"~Ø8"

이송 작업: 3 atmospheric axis clean robots

Clean unit: HEPA filter

Cleaning: 브러쉬, MS 표준

선택 사양: High-pressure jet nozzle, UV, excimer, hot plate 등

Utility: Power supply, CDA, N2, DIW, drain 등

 Model JS2C-200

 수동 스핀 크리너 ( Manual Spin cleaning equipment, spin cleaner )

    크리닝, 드라이, 코팅, 현상, 에칭, 스트리핑 등의 다목적으로 사용합니다. 사진은 크리닝 모델입니다.

사양

웨이퍼 사이즈: Ø2"~Ø6"

Cleaning: 디스크 브러쉬, MS 표준

선택 사양: High-pressure jet nozzle, Chemical nozzle 등

Utility:  CDA 0.5Mpa 이상, DIW 0.2Mpa 이상