수동 웨이퍼 다이싱 소, wafer dicing saw

박막 두께 측정 장치, Thin film measurement

표면저항 측정기, Four point probe

프로브 스테이션, probe station

진공 핀셋, vacuum tweezer

양극 접합 장치, anodic bonder

카본 나노 튜브 합성장치, CNT synthesizing system

마스크 얼라이너 ( 노광기 ), mask aligner

스프레이 코터, spray coater

딥코터, dip coater

스핀 코터, spin coater

스핀 프로세서, spin processor

스핀 에처, spin etcher

스핀 드라이어, spin drier

스핀 크리너, spin cleaner

 전기로, Furnace