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 mask aligner home
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- 균일하고 높은
조사분포(collimating UV source)
- 디지털 마이크로메타에
의한 Z축 제어(소프트 콘택 가능)
- 간단한 조작으로 전후,
상하제어
- 이시야 현미경을 채용하여
빠르고 확실한 얼라인먼트(mask alignment)
- 다양한 시료 및 마스크 적용
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미 경 Mask aligner(마스크
얼라이너) 사양
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모델 명 |
MA-20 |
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현 미 경 |
쌍대물 쌍안 현미경 7형, 광축거리 약 18~16MM |
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조 명 |
100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사 |
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램프 하우스 |
8 면체 미러식, 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식 |
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노 광 광 원 |
초고압 수은등 500W (250W 사용가) |
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노광용 타이머 |
0~999.9초 디지털 세트 방식 및 적산 광량계 세트 |
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공 압 |
현미경 및 마스크 홀더 구동용 5Kg/CM2 |
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진 공 |
0.5~0.8 Kg/CM2 |
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마스크 홀더 |
에어 실린더로 전후 이동 |
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마스크 글래스 |
진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가) |
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마스크 사이즈 |
최대 5 인치X 5 인치 |
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시 료 대 |
진공흡착 고정식 |
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시 료 |
진공흡착 고정식 |
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시료 사이즈 |
최대 4 인치Ø |
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시 료 두 께 |
최대 2MM |
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매니퓨레이터 이동범위 |
X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM ,미동 0.2 MM, θ: ±7도
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+자동 스테이지 이동 범위 |
± 20MM |
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Z축 이동 센서 |
디지털 카운터에 의해 최대 3MM, 최소 1 ㎛ |
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Z축 에어 구동 |
0~9MM |
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전 원 |
AC 100V 50/60 Hz, 20A |
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DIMENSION |
760W X 640H X 800D MM |
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수은등 점등 장치 |
내장 |
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중 량(본체) |
200 Kg |
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경기도 안양시 동안구 호계 1동 555-9, 안양 유통상가 24동 307호, 우) 431-080 |
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