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mask aligner home
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- 균일하고 높은 조사분포
- 노광용 전원 내장
- 간단한 조작으로 전후, 상하제어
- 이시야 현미경을 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트
- 다양한 시료 및 마스크 적용
- 경량, 콤팩트이므로 이동 용이
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미 경 Mask
aligner(마스크 얼라이너) 사양
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모델 명 |
JSMA-600M (400M) |
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마이크로스코프 |
CCD 카메라, CRT, 광축거리 약 18~16MM |
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조 명 |
220V, 100W, 할로겐 램프 |
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램프 하우스 |
450x450mm, 평행광 (collimated light), 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식 |
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광
입사각
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half 1.5
degree
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노 광 광 원 |
초고압 수은등, 1000W (500W) |
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노광용 타이머 |
0~999.9초 디지털 세트 방식 |
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진 공 |
0.5~0.8 Kg/CM2 |
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마스크 홀더 |
진공흡착 고정식 |
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마스크 글래스 |
진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가) |
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마스크 사이즈 |
최대 450x450mm (350x350mm) |
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시 료 대 |
진공흡착 고정식 |
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시 료 |
진공흡착 고정식 |
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시료 사이즈 |
최대 400x400mm (300x300mm) |
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시 료 두 께 |
최대 2MM |
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매니퓨레이터 이동범위 |
X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM ,미동 0.2 MM,
θ: ±7도
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스테이지 이동 범위 |
± 200MM |
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전 원 |
AC 220V 50/60 Hz, 20A |
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DIMENSION |
1000W X 800D X 650H MM |
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중 량(본체) |
200 Kg |
Mask
aligner(마스크 얼라이너) 사양
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모델 명 |
JSMA-200M (150M) |
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마이크로스코프 |
Zoom stereo microscope, 100~200X |
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조 명 |
220V, 100W, 할로겐 램프 |
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램프 하우스 |
250x250mm, 평행광 (collimated light), 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식 |
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광
입사각
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half 1.5
degree
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노 광 광 원 |
초고압 수은등, 350W |
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노광용 타이머 |
0~999.9초 디지털 세트 방식 |
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진 공 |
0.5~0.8 Kg/CM2 |
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마스크 홀더 |
진공흡착 고정식 |
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마스크 글래스 |
진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가) |
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마스크 사이즈 |
최대 175x175mm (125x125mm) |
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시 료 대 |
진공흡착 고정식 |
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시 료 |
진공흡착 고정식 |
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시료 사이즈 |
최대 150x150mm (100x100mm) |
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시 료 두 께 |
최대 2MM |
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매니퓨레이터 이동범위 |
X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM ,미동 0.2 MM,
θ: ±7도
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스테이지 이동 범위 |
± 200MM |
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전 원 |
AC 220V 50/60 Hz, 20A |
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DIMENSION |
600W X 500H X 600D MM |
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중 량(본체) |
85 Kg |
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