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UV lightsource system (평행광 자외선 노광원)
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Model UVS-200, UVS-300 |
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* 본 UV
source는 FINE Pattern용 평행광 노광기의 Exposure Unit으로서 Lead Frame, EMI
Filter, 각종 sensor 등의 테스트에 널리 사용되고 있는 Model 입니다.
| Specifications: |
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UVS-200
| UVS-300
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| effective
exposure area |
200x200
mm
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300x300 mm
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| exposure type |
single
side
collimation |
| light source |
3Kw Mercury arc
lamp |
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optical
mirror type
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flat
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| lamp life time
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1000 hr |
| U.V. intensity |
12㎽/㎠
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10㎽/㎠
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| uniformity |
90% |
| resolution |
10~30um |
| wave length |
365~405 nm
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| collimation half angle
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less
than 1.5˚ |
| declination angle
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less
than 1.5˚ |
| UV exposing type |
light
integrating system
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| cooling type |
air cooling
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dimension,wxdxh
mm
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500x1000x1500
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700x1500x2000
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