프로브 스테이션(probe station)


    본 장치는 미세한 반도체 웨이퍼, 프린트 기반이나 각종 재료의 전기적 특성을 측정하기 위한 프로빙을 목적으로 한 장치입니다．

    정밀한 어프로치에 우수하고，각종 포지셔닝용 매니퓨레이터, 프로브 현미경, 쉴드 케이스 등의 선택 사양으로 고객의 요구를 맞추어 드립니다.

<K-157MP 간이형>

샘플 사이즈 스테이지 4 inchφ

자세한 내용   5,800,000원
<K-157MP150 간이형>

샘플 사이즈 스테이지 6inchφ

자세한 내용   6,900,000원
<K-160MP>

샘플 사이즈 스테이지 4 inchφ

자세한 내용   11,000,000원
<K-160MW>

샘플 사이즈 스테이지 4 inchφ

자세한 내용
<K-160MPH/MWH>


샘플 사이즈 스테이지 4 inchφ , 히터 스테이지

자세한 내용

<K-163MW1>

샘플 사이즈 스테이지 4 inchφ
전동식, 수동식 양용

자세한 내용

소개하고 있는 제품 이외에도 세미오토타입，홀 효과 측정용등도 취급하고  있습니다 .


매니퓨레이터(manipulator)
<K-15MT> <K-15MTS> <K-15MX>
X,Y,Z축 미동 5mm 250μm/회전
Y축 조동 16mm
θ축 조동 90°
X,Y,Z축 미동 기구 アリミゾ
크기 W 38×D 120×H 65mm
무게 260g
  
X,Y,Z축 미동 6mm 250μm/회전
Y축 조동 16mm
θ축 조동 90°
X,Y,Z축 미동 기구 슬라이드 베어링
크기 W 55×D 130×H 73mm
무게 400g
  
X,Y,Z축 미동 10mm 500μm/회전
X,Y,Z축 미동 1mm 20μm/회전
X,Y,Z축 미동 기구 슬라이드 베어링
크기 W 90×D 130×H 86mm
무게 700g

핀 홀더 및 케이블
<L 타입>  <LL 타입>   <BNC 타입>
   

프로브 핀
재질 형식 크기 팁 반경
텅스텐 카바이드 KM2 30mmL×0.7φ×10° 2μ
텅스텐 카바이드 KM5 30mmL×0.7φ×10° 5μ
텅스텐 카바이드 KM10 30mmL×0.7φ×10° 10μ
텅스텐 카바이드 KM30 30mmL×0.7φ×10° 30μ
텅스텐 카바이드 KM50 30mmL×0.7φ×10° 50μ
은 KM30Ag 30mmL×0.7φ×10° 30μ
백금 KM30Pt 30mmL×0.7φ×10° 30μ

＜사용예＞

확대

 

 

     

     

    경기도 안양시 동안구 호계 1동 555-9, 안양 유통상가 24동 307호, 우) 431-080

    Tel 031-479-1458~9
    Fax 031-479-1457
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