| □ Main
chamber |
Materials |
Quartz |
| Dimensions（insideID×height H） |
Φ40×700（mm） |
| Operating pressure |
1×10 －２ Pa |
| □ Heating system |
Heating temp |
MAX 1200℃ |
| Heating accuracy |
±0.5℃ 80～100（mm） |
| Temp. control |
PID |
| Furnace core pipe（insideID×height L） |
φ60×400（mm） |
| Installed furnace |
Sidewise |
| Floating zone |
2 zone |
| □ Gas system |
Introduce reaction gas |
Mass flow control:7 connectio |
| □ Vacuum system |
Vacuum pump |
RP 500L/sec（gas proof specification） |
| Mechanical booster pump 90m3/Hr |
| Vacuum gauge |
Pirani/Capacitance manometer |
| □ Dimensions |
Body dimensions （W×D×H） |
７００×１２００×１７３０（ｍｍ） |
| Exhaust mount dimension（W×D×H） |
８００×７００×９００（ｍｍ）
|
Feature of LPCVD