특 징 1. 고성능, 저가격, 컴팩트 탁상타입 2. 기판사이즈 : 1 inch ~ 6 inch 직경 3. LCD 터치패널에서 프로그램입력조작 가능 4. 약액압송펌프내장(가압탱크 불필요) 사 양 1. 기판사이즈 : 1 inch ~ 6 inch wafer (최대 :150x150mm) 2. 기판회전수 : 0 ~ 3000 rpm 임의설정 3. 처리시간설정 : 최소 1 초 4. 프로세스 : 현상액 : 1 계통 린 스 : 1 계통 5. 노 즐 : 프로그램에의한 진각임의설정 센터고정도 가능 6. 본체크기 : 500x400x440(WXDXH)mm 7. 무 게 : 약 35Kg 8. 전원 : AC 100V, 4A 9. 진공 : 350mmHg 이하 10. 국소배기 : 0.3㎥/min